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發(fā)布時(shí)間：2024-01-12 16:03:24

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無紡布拋光墊

無紡布拋光墊是一款毛氈狀的拋光墊，能磨出一定程度的平坦性和平滑性，性能處于聚氨酯拋光墊和阻尼布拋光墊的中間位置。
通常被使用于粗磨或中磨。
應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體晶圓，藍(lán)寶石，光學(xué)鏡片，金屬等材料CMP。
定制服務(wù)：
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。

產(chǎn)品描述

NWS-85	NWS-60	NWS-70
• 由無紡布浸漬聚氨酯樹脂后得到的復(fù)合拋光墊 • 耐氧化性優(yōu)異，不掉毛，速率保持穩(wěn)定 • 適用于碳化硅的粗拋工藝	• 由無紡布浸漬聚氨酯樹脂后得到的復(fù)合拋光墊 • 硬度、密度較低，在低壓力下去除前道工序中的劃痕 • 適用于硅片襯底的中拋工藝	• 由無紡布浸漬聚氨酯樹脂后得到的復(fù)合拋光墊 • 圓環(huán)內(nèi)側(cè)可切缺口便于貼合環(huán)形機(jī)臺(tái) • 適用于硅片襯底的邊拋工藝
NWD-80	NWD-90	更多產(chǎn)品請(qǐng)聯(lián)系我們
• 由無紡布浸漬聚氨酯樹脂后得到的復(fù)合拋光墊 • 出色的平整度，在中等壓力下實(shí)現(xiàn)高去除速率 • 適用于硅片襯底的粗拋和中拋工藝	• 由無紡布浸漬聚氨酯樹脂后得到的復(fù)合拋光墊 • 出色的平整度，在高壓力下全壽命周期內(nèi)保持高去除速率 • 適用于硅片襯底的粗拋工藝	更多產(chǎn)品請(qǐng)聯(lián)系我們