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產(chǎn)品列表隱藏

發(fā)布時間:2024-01-12 16:03:24

 

產(chǎn)品中心

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01021 (13)

阻尼布拋光墊

阻尼布拋光墊是一種絲絨狀的拋光材料,質(zhì)地細膩、表面柔軟、且布滿小孔,使用時能很好地容納拋光液,提高切削力的同時能避免劃傷工件。
通常被使用于高平滑性,低欠陷性的精磨工序。
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體晶圓,LED玻璃主板,藍寶石玻璃、金屬等的精拋。
定制服務(wù):
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。
01021 (13)
產(chǎn)品描述

DPN-50W

DPN-55

DPN-50

• 表層為多孔聚氨酯絨毛層,底部可加無紡布的基材
• 質(zhì)地柔軟,彈性好,有效避免劃傷
• 用于碳化硅精拋

• 表層為多孔聚氨酯絨毛層,底部為無紡布的基材
• 絨毛層厚度較薄,質(zhì)地偏硬,彈性好,有助于獲得低缺陷表面
• 用于12寸硅片襯底的精拋工藝

• 表層為多孔聚氨酯絨毛層,底部為無紡布的基材
• 絨毛層厚度較厚,質(zhì)地柔軟,彈性好,有助于獲得低缺陷表面
• 用于8寸及以下硅片襯底的精拋工藝

ASP-0.6

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• 替代蠟將工件黏附在陶瓷盤上的模式
• 內(nèi)層采用了拋光微孔材料
• 潤濕后特殊微孔吸附住工件,使工件在加工過程中固定不脫落
• 完工后便利取片,且不會有殘蠟及殘膠問題

 

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