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產(chǎn)品列表隱藏

發(fā)布時間:2024-01-12 16:03:24

 

解決方案

SOLUTION

 

 

 

碳化硅襯底切磨拋耗材整體解決方案

概要:
概要:
詳情

工藝

推薦產(chǎn)品

應(yīng)用場景

滾圓

切削液

S450B

配合滾圓和倒角的切削加工

切割

切割油

SCCS-803

配合剛線切割晶棒

研磨

研磨液

COLAP-632、633、833、834、835

研磨墊

PUN-88

單晶粗磨液配合鑄鐵盤使用
精磨研磨液與研磨墊搭配使用

拋光

拋光液

COPOL-233、234、235、236

拋光墊

NWS-85

襯底粗拋、精拋

NWS-90/NWS-85

粗拋襯底

COPOL-131、132、133和134

NWS-80或NWS-85

精拋襯底C面或Si面

COPOL-431

NWS-85/PUN-50D

一步拋光硅面和碳面

COPOL-136

DPN-50W

精拋襯底Si面

吸附墊

各型號吸附墊

單面拋光時,無蠟吸附

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