2023年9月19日至23日,第23屆中國國際工業(yè)博覽會(以下簡稱“工博會”)新材料新產(chǎn)業(yè)展在國家會展中心(上海)舉行。展會以“碳循新工業(yè),數(shù)聚新經(jīng)濟”為主題,圍繞制造業(yè)低碳化發(fā)展、數(shù)字化轉(zhuǎn)型的時代新趨勢,打造國際化、開放性、高水平的全球產(chǎn)業(yè)合作交流平臺。作為半導體材料國產(chǎn)化替代的踐行者,博來納潤也參加了本次的工博會,我們的產(chǎn)品“用于SiC晶體的高效率精密拋光液”榮獲“第二十三屆中國國際工業(yè)博覽會新材料產(chǎn)業(yè)展優(yōu)秀產(chǎn)品獎”。
本次工博會博來納潤展出了碳化硅襯底切、磨、拋整體解決方案系列產(chǎn)品,涵蓋了切割液、研磨液(粗磨和精磨)、研磨墊、CMP拋光液和CMP拋光墊等系列產(chǎn)品。
展會上展出的粗拋用氧化鋁拋光液COPOL-233和氧化硅拋光液COPOL-131,能夠幫助碳化硅襯底CMP工藝大幅度提高產(chǎn)品的加工效率和良率。碳化硅襯底粗拋用無紡布拋光墊NW-95較同行耐腐蝕強、使用壽命長,實現(xiàn)了全流程國產(chǎn)化,吸引不少觀眾駐足展臺了解細節(jié),洽談合作。
博來納潤通過自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,致力于為泛半導體行業(yè)的平坦化工藝提供材料整體解決方案。通過此次展會為契機,聚焦產(chǎn)業(yè)發(fā)展、把握市場機遇、尋求行業(yè)突破,繼續(xù)為客戶提供國產(chǎn)化、定制化、專業(yè)化的服務,繼續(xù)為半導體材料行業(yè)的發(fā)展積極貢獻力量。